• 品　名：氮化矽基板
• 外　觀：灰色
• 英文名：Silicon Nitride
• 化學式：Si₃N₄
• CAS號：12033-89-5
• 密　度：3.17g / cm3
• 說　明：
  氮化矽是由矽元素和氮元素構成的化合物。它是矽的氮化物中化學性質最為穩定的，也是所有矽的氮化物中熱力學最穩定的。
  
  在很寬的溫度範圍內氮化矽都是一種具有一定的熱導率、低熱膨脹係數、彈性模量較高的高強度硬陶瓷。不同於一般的陶瓷，它的斷裂韌性高。這些性質結合起來使它具有優秀的耐熱衝擊性能，能夠在高溫下承受高結構載荷並具備優異的耐磨損性能。
  
  
• 用　途：
  氮化矽(Si₃N₄)基板是高溫、高功率、高負載電子電路基板之最佳材料之一，同時也必將是未來半導體器件的發展趨勢，並為第三代半導體的發展提供堅實的材料基礎。

• 產品規格標準表

  序號	項貝		單位	標準要求
  01	尺寸	寬度	mm	140
  		長度	mm	190
  		厚度	mm	0.32
  02	密度		g/cm3	≥ 3.22
  03	粗糙度		um	≤ 0.7
  04	抗彎強度		MPa	≥700
  05	熱膨脹係數		40～400°C	2.5~3.1*10-6/k
  06	熱導率		25℃,W/(m∙K)	≥ 80
  07	介電常數		1MHz	7.8
  08	介電損耗		1MHz	0.4*10-4
  09	體積電阻		g/cm3	>1014 Ωcm
  10	耐擊穿電壓		Kv/mm	> 15 KV/mm
  11	斷裂韌性		MPa∙m1/2	≥ 6.5